公开/公告号CN114217191A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-22
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申请/专利权人 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司;
申请/专利号CN202210165177.1
申请日2022-02-23
分类号G01R31/12(20060101);G01R1/02(20060101);G01R1/04(20060101);B25H1/00(20060101);
代理机构33266 杭州融方专利代理事务所(普通合伙);
代理人沈相权
地址 311201 浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号
入库时间 2023-06-19 14:36:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-22
公开
发明专利申请公布