公开/公告号CN114218756A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-22
原文格式PDF
申请/专利号CN202111398893.6
申请日2021-11-24
分类号G06F30/20(20200101);
代理机构11556 北京恒创益佳知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人付金豹
地址 100081 北京市海淀区中关村南大街12号
入库时间 2023-06-19 14:36:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-22
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法