公开/公告号CN114188201A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 ICT半导体集成电路测试有限公司;
申请/专利号CN202111020667.4
申请日2021-09-01
分类号H01J37/12(20060101);H01J37/26(20060101);H01J37/28(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖;张鑫
地址 德国海姆斯特滕
入库时间 2023-06-19 14:31:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-15
公开
发明专利申请公布