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公开/公告号CN114188205A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中微半导体设备(上海)股份有限公司;
申请/专利号CN202010960549.0
发明设计人 吴狄;连增迪;陈煌琳;左涛涛;裴江涛;
申请日2020-09-14
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构31323 上海元好知识产权代理有限公司;
代理人张妍;周乃鑫
地址 201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
入库时间 2023-06-19 14:31:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-15
公开
发明专利申请公布
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