公开/公告号CN114166348A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院光电技术研究所;
申请/专利号CN202111542588.X
申请日2021-12-16
分类号G01J4/00(20060101);G01N21/21(20060101);
代理机构11251 北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人金怡
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
入库时间 2023-06-19 14:29:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-11
公开
发明专利申请公布