针对先进技术节点具有改进检测准确性的故障分析方法

摘要

本发明实施例涉及针对先进技术节点具有改进检测准确性的故障分析方法。根据本发明的一些实施例，一种方法包含：确定半导体晶片的半导体装置中的缺陷区域；从所述半导体晶片的背侧薄化所述半导体晶片；将第一衬底接合到所述半导体晶片的所述背侧，其中所述第一衬底包含开口且所述缺陷区域通过所述开口暴露；及经由通过所述开口从所述背侧投射光束而对所述缺陷区域执行测试。