一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法

摘要

本发明公开了一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法，包含如式I所示无规共聚物结构，其中n、m、x和y为单体的摩尔占比，0＜n≤0.3，0＜m≤0.8，0＜x≤0.2，0＜y≤0.3，n+m+x+y＝1；R1、R2、R3和R4为H、CH3或CH2CH3。一种光刻胶组合物，包括所述成膜树脂5～30％、酸扩散抑制剂0.5～10％，其余为有机溶剂。本发明的光致产酸剂不仅可以在曝光区域产酸，同时还能有效地在光刻胶中均匀分布，并改善了光刻胶的成膜能力。制得的光刻胶粘附性良好、灵敏度≤38mJ/cm2、分辨率可达到90nm以下。