一种基于图像的失效ESD器件无损表征方法

摘要

本发明涉及一种基于图像的失效ESD器件无损表征方法，其特点是采用激光扫描或光发射显微技术对失效初期器件进行漏电路径定位，以及X射线显微镜对失效后期ESD器件进行断层扫描和3D重构，基于图像的观测，对失效ESD器件进行全面的无损表征，得到不同失效阶段的原因，以指导器件的优化设计。本发明与现有技术相比具有利用无损的方法得到不同失效阶段的原因，找出器件的可靠性问题和设计存在的薄弱区域，从而达到ESD器件优化的结果，指导器件的优化设计，提高ESD器件的可靠性，有效减少系统成本，降低设计和布线的复杂度，尤其适用系统的研究ESD器件内在运行机制和需要优化的部分，在低压、高压集成电路中具有重要的应用前景。