一种应用于Healthy-IoT的微波生物传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种生物传感器，包括传感器晶元，测量Pad点，差分电感线圈，空气桥结构，点阵列电容，电容上级板、电容下极板。制备方法如下：将氮化镓介质层沉积到晶元表面；将Ti/Au作为第一层种子金属；利用光刻胶来定义下层金属、SiNx介质层、空气桥柱、空气桥金属所需的结构，将下层金属、上层金属电镀到种子金属上；将氮化镓钝化层沉积到晶元表面；定义接触电极Pad的结构；将上述步骤所得的半成品晶元进行背面打磨、抛光、切割、金属跳线键合、以及封装。本发明通过相互缠绕型差分电感和圆形点阵列电容串联形成微波谐振器器件，在提高器件品质因数的同时，极大的减小了器件所占的芯片尺寸；解决了微波器件测量生物标记物溶液浓度时灵敏度不高的问题。