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用于在激光加工系统中确定焦点位置的装置、具有该装置的激光加工系统以及用于在激光加工系统中确定焦点位置的方法

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本公开文件涉及一种用于在激光加工系统(100)中确定激光束(10)的焦点位置(F)的装置(200)。该装置(200)包括第一光学元件(210)，所述第一光学元件设置用于反射激光束(10)的一部分以耦合输出激光束(10)的第一子光束(12)；第二光学元件(220)，所述第二光学元件设置用于反射激光束(10)的另外的部分以耦合输出激光束(10)的与第一子光束(12)基本上同轴的第二子光束(14)；空间分辨传感器(230)，第一子光束(12)和第二子光束(14)能够偏转到所述空间分辨传感器上；和评估单元(240)，所述评估单元设置用于基于射到空间分辨传感器(230)上的第一和第二子光束(12，14)来确定激光束(10)的焦点位置(F)。

著录项

公开/公告号CN111989552A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-24

原文格式PDF
申请/专利权人普雷茨特两合公司;
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申请/专利号CN201980017812.8
发明设计人 D·布拉斯克斯桑切斯;
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申请日2019-02-20
分类号G01J1/42(20060101);G01J1/04(20060101);B23K26/03(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人韩长永
地址德国加根瑙
入库时间 2023-06-19 08:04:59

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-08-30

授权

发明专利权授予

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外文文献

1. 用于确定在激光加工系统中激光射束的焦点位置的装置、具有该装置的激光加工系统和用于确定在激光加工系统中激光射束的焦点位置的方法 [P] . 中国专利： CN111247403A . 2020-06-05
2. 用于设置激光加工系统中的激光束的焦点位置的装置、包括该装置的激光加工系统以及用于设置激光加工系统中的激光束的焦点位置的方法 [P] . 中国专利： CN113195150A . 2021-07-30
3. Device for determining a focus position of a laser beam in a laser processing system, laser processing system with the same and method for determining a focal position of a laser beam in a laser processing system [P] . 德国专利： DE102018105364A1 . 2019-09-12

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