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生长在衬底上的纳米结构的网络

摘要

本公开涉及一种用于产生互连纳米结构的网络的方法,所述方法包括以下步骤:提供大致平面的衬底;从所述衬底生长多个细长纳米结构;扭结所述纳米结构的至少一部分的生长方向,使得至少部分扭结的纳米结构在平行于所述衬底的网络平面内生长;以及在所述网络平面内产生一个或多个互连扭结纳米结构的网络,其中在所述网络平面下方设置有介电支撑层,以支撑互连纳米结构的所述(多个)网络。

著录项

  • 公开/公告号CN107849727A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-03-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 哥本哈根大学;

    申请/专利号CN201680037573.9

  • 申请日2016-06-27

  • 分类号C30B11/12(20060101);C30B29/60(20060101);

  • 代理机构72003 隆天知识产权代理有限公司;

  • 代理人石海霞;李昕巍

  • 地址 丹麦哥本哈根

  • 入库时间 2023-06-19 04:53:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-13

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B11/12 申请日:20160627

    实质审查的生效

  • 2018-03-27

    公开

    公开

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