板状体的研磨方法及板状体的研磨装置

摘要

本发明涉及一种板状体的研磨方法和板状体的研磨装置。板状体的研磨方法具有：平面度测定工序，测定多个板状体的被研磨面的平面度；和研磨工序，研磨测定了平面度的多个上述板状体的被研磨面，在该研磨工序中，在相对推压上述板状体的被研磨面和研磨工具的同时使上述板状体的被研磨面和上述研磨工具相对旋转，而通过上述研磨工具研磨上述板状体的被研磨面，根据在上述平面度测定工序中所测定的上述板状体的被研磨面的平面度，以使多个上述板状体的被研磨面的平坦度的分布峰值相对于规格值存在于‑0.15至‑0.05的范围内的方式变更上述研磨工序的研磨条件。