一种提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环

摘要

本发明提供了一种提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环，包括保温筒、冷却水管道和掺杂管道，所述保温筒筒体外壁上套设有环形的冷却水管道，所述冷却水管道上设置有进水口和出水口，所述筒体外壁上紧挨冷却水管道下端处，套设有环形的掺杂管道，所述掺杂管道上设有若干个管道进气口，所述筒体的筒壁上设有若干个与所述掺杂管道相连通的筒体进气口。本发明所述的提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环可以减小炉内氩气对流对掺杂浓度的影响，提高了轴向电阻率均匀性；可以减小自由熔体表面中心与边缘的掺杂浓度差，提高了径向电阻率均匀性；而且局部掺杂浓度升高，提高掺杂效率，降低成本。