固定金属粒子的方法和采用这种固定方法制造含有金属粒子的衬底的方法、制造含有碳纳米管的衬底的方法及制造含有半导体 －晶体棒的衬底的方法

摘要

公开的是一种将金属粒子粘附到衬底上的预定位置的方法。在衬底(101)上形成其中分散有金属化合物的抗蚀剂膜。用光刻法将抗蚀剂膜形成图案。在氧气气氛中加热其上形成有组成图案的抗蚀剂的衬底(101)，以将金属粒子(106)粘附到衬底(101)表面上，同时除去组成图案的抗蚀剂中的树脂。