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基于软磁多层膜巨磁阻抗效应的磁敏器件

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摘要

一种基于软磁多层膜巨磁阻抗效应的磁敏器件，属于传感器技术领域。本发明由带SiO

1. 基于软磁多层膜巨磁阻抗效应的磁敏器件的制作方法 [P] . 中国专利： CN100431188C . 2008.11.05
2. 基于软磁多层膜巨磁阻抗效应的磁敏器件的制作方法 [P] . 中国专利： CN1688036A . 2005-10-26
3. Soft magnetic film soft magnetic multilayer film method of manufacturing the same and magnetic device [P] . 美国专利： US6346336B1 . 2002-02-12

机译：软磁性膜软磁性多层膜的制造方法以及磁性器件
4. Soft magnetic thin film, soft magnetic multi-layered film, producing method thereof and magnetic device using them [P] . 欧洲知识产权局专利： EP0991087A2 . 2000-04-05

机译：软磁薄膜，软磁多层膜，其制造方法和使用它们的磁性器件
5. Soft magnetic thin film, soft magnetic multi-layered film, producing method thereof and magnetic device using them [P] . 欧洲知识产权局专利： EP0991087A3 . 2000-10-25

机译：软磁薄膜，软磁多层膜，其制造方法和使用它们的磁性器件