公开/公告号CN111201083A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-26
原文格式PDF
申请/专利权人 富林特希尔斯资源有限公司;
申请/专利号CN201880033517.7
发明设计人 德米安·毛奥德费奥;布里安·克兰西-琼特;
申请日2018-04-28
分类号B01J38/18(20060101);C07C5/333(20060101);B01J19/26(20060101);C07C5/32(20060101);B01J4/00(20060101);B01J8/02(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李新红
地址 美国堪萨斯州
入库时间 2023-12-17 08:04:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-19
实质审查的生效 IPC(主分类):B01J38/18 申请日:20180428
实质审查的生效
2020-05-26
公开
公开
机译: 用于化学气相沉积(CVD)反应器的气体入口元件,可用于具有基本出口的CVD反应器中,该基本出口用于通过边缘侧进入孔引入处理气体,并在进入孔上游引入混合室以使气体成分均匀化
机译: 用于将气体引入外延反应器的腔室中的设备,包括这种气体引入设备的反应器腔室以及这种腔室用于产生半导体层的用途
机译: 一种在不增加NOx产生的情况下降低气流中酸性气体浓度和/或降低酸性气体吸收器消耗的系统,包括:反应器,吸收器,将灰分引入气流中的装置以及引入加湿器的装置进入吸收器。