一种基于一维衍射的超薄平行光源

摘要

本发明公开一种基于一维衍射的超薄平行光源，该平行光源包括依次平行设置的发光光源、周期性狭缝光阑和第一周期性一维菲涅尔区相位修正平面。相对现有双远心结构的平行光源，本发明的基于一维衍射的超薄平行光源的轴向距离小、重量轻、成本低，且易于装配大面积平行光源，可以用于大尺寸物体的一维高精度测量。