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开关元件、可变电阻存储器装置和制造开关元件的方法

摘要

提供了一种开关元件、一种可变电阻存储器装置以及一种制造开关元件的方法。所述开关元件包括:在衬底上的下阻挡电极、在下阻挡电极上的开关图案以及在开关图案上的上阻挡电极。下阻挡电极包括:第一下阻挡电极层以及插入在第一下阻挡电极层和开关图案之间的第二下阻挡电极层,第二下阻挡电极层的密度不同于第一下阻挡电极层的密度。

著录项

  • 公开/公告号CN110875429A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-03-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三星电子株式会社;

    申请/专利号CN201910831757.8

  • 申请日2019-09-04

  • 分类号H01L45/00(20060101);H01L27/24(20060101);

  • 代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人赵南;张帆

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2023-12-17 05:22:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-10

    公开

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