多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法

摘要

本发明提供一种多孔质玻璃母材制造用燃烧器及使用该多孔质玻璃母材制造用燃烧器的多孔质玻璃母材的制造方法，该多孔质玻璃母材制造用燃烧器（10）的多个气体喷出开口部中最外侧的第三气体喷出开口部（17）被堵塞部件（19）堵塞，且在堵塞部件（19）上相对于玻璃原料气体喷出口（11）的中心轴呈同心圆状地设置有一列或多列气体喷出孔（20）。由此，改变最外侧气体喷出开口部的截面积而调整助燃性气体的流量及线速度，从而能够抑制助燃性气体及可燃性气体的扩散，并且提高沉积效率。

说明书

技术领域

本发明涉及多孔质玻璃母材制造用燃烧器及多孔质玻璃母材的制造方法。

背景技术

以往，为了制造光纤母材而提出有各种方法。在这些方法中尤其通用的是外气相沉积 （Outside Vapor Phase Deposition：OVD）法。外气相沉积法作为一种能够得到比较任 意的折射率分布的光纤母材，且能够使大口径光纤母材实现量产的方法而众所周知。

外气相沉积法中的一例是，在最初阶段，使初始母材与玻璃母材制造用燃烧器相对性 地往返移动，同时，玻璃母材制造用燃烧器将含有玻璃微粒子的火焰朝初始母材喷射，从 而使玻璃微粒子（烟灰粒子，soot）附着沉积在初始母材上。然后，在下一阶段中，通过 使烟灰粒子沉积体在电炉内脱水和烧结而使其透明玻璃化，由此生成光纤母材。

对玻璃微粒子的沉积体进行合成的燃烧器可以采用石英玻璃制的同心多层管燃烧器。 由于同心多层管燃烧器无法将玻璃原料气体、可燃性气体及助燃性气体充分混合，因此可 能会使玻璃微粒子的生成不够充分。其结果导致产率无法提高而难以实现玻璃微粒子的高 速合成。

为了解决该问题，在专利文献1中提出一种多喷嘴型的多层管燃烧器。在专利文献1 的多层管燃烧器中，在原料气体喷出口的周围设置有圆环状的可燃性气体喷出开口部，在 该可燃性气体喷出开口部内，相对于原料气体喷出口的中心轴呈同心圆状地设置有多个小 口径助燃性气体喷出口。

另外，关于这种类型的多层管燃烧器，为了进一步提高沉积效率而提出有多种结构。 例如，在专利文献2、专利文献3、专利文献4及专利文献5中提出有小口径助燃性气体 喷出口的结构。另外，在专利文献6、专利文献7及专利文献8中提出有优化小口径助燃 性气体喷出口的焦点距离的方案。此外，在专利文献9、专利文献10、专利文献11及专 利文献12中提出有优化多层管燃烧器中的气体流量及气体线速度的方案。

专利文献1：专利第1773359号

专利文献2：特开2003-206154号公报

专利文献3：特开2004-331440号公报

专利文献4：特开2006-182624号公报

专利文献5：专利第3744350号

专利文献6：特开平5-323130号公报

专利文献7：专利第3543537号

专利文献8：特开2003-226544号公报

专利文献9：专利第3591330号

专利文献10：特开2003-165737号公报

专利文献11：特开2003-212555号公报

专利文献12：专利第3653902号

发明内容

[发明要解决的问题]

在多孔质玻璃母材制造用燃烧器的制作中，使各管的厚度较薄以及使各管之间的间隙 较窄地制作均较困难。因此，难以对各管之间的气体喷出开口部的截面积进行任意调节， 位于外侧的气体喷出开口部的截面积有变大的倾向。

在这种燃烧器中，如果要增大最外侧助燃性气体的线速度，则必须在必要程度以上增 大气体流量。然而，如果使助燃性气体的流量增大至必要程度以上，则会使沉积面的温度 下降，其结果将导致沉积效果也大大降低的问题。

[解决问题的技术手段]

根据本发明的一方面，一种多孔质玻璃母材制造用燃烧器，在具有中心轴的玻璃原料 气体喷出口的外侧呈同心圆状地设置有多个圆环状的气体喷出开口部，在所述多个气体喷 出开口部中除最外侧气体喷出开口部以外的任一气体喷出开口部上相对于所述中心轴呈 同心圆状地设置有一列或多列小口径气体喷出口，所述小口径气体喷出口中位于同一圆周 上的所述小口径气体喷出口的轴线在所述中心轴的延长线上具有交点，且所述多个气体喷 出开口部中最外侧的气体喷出开口部被堵塞部件堵塞，且在所述堵塞部件上相对于所述中 心轴呈同心圆状地设置有一列或多列气体喷出孔。

另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器中，通过所述气体喷 出孔的轴线也能以通过位于同一圆周上的所述气体喷出孔的轴线在所述中心轴的延长线 上具有交点的方式相对于所述中心轴倾斜。

另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器中，也可构成为对所 述最外侧的气体喷出开口部供应助燃性气体，且对与所述最外侧的气体喷出开口部邻接的 气体喷出开口部供应可燃性气体。

另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器中，所述堵塞部件的 厚度也可为1.0mm以上。

另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器中，通过所述气体喷 出孔的气体的线速度也可为约16m/s，所述气体喷出孔也可为圆形，且所述气体喷出孔 的内径也可为1.0mm以下。

此外，根据本发明的另一方面，一种多孔质玻璃母材的制造方法，使用多孔质玻璃母 材制造用燃烧器，该多孔质玻璃母材制造用燃烧器在具有中心轴的玻璃原料气体喷出口的 外侧呈同心圆状地设置有多个圆环状的气体喷出开口部，在所述多个气体喷出开口部中除 最外侧气体喷出开口部以外的任一气体喷出开口部上相对于所述中心轴呈同心圆状地设 置有一列或多列小口径气体喷出口，所述小口径气体喷出口中位于同一圆周上的所述小口 径气体喷出口的轴线在所述中心轴的延长线上具有交点，且所述方法包括如下步骤：向所 述多孔质玻璃母材制造用燃烧器供应可燃性气体及助燃性气体；一面使所述多孔质玻璃母 材的初始母材与所述多孔质玻璃母材制造用燃烧器相对性地往返移动，一面从所述多孔质 玻璃母材制造用燃烧器向所述初始母材喷射包含玻璃微粒子的火焰，由此在所述初始母材 上沉积所述玻璃微粒子；且所述多个气体喷出开口部中最外侧的气体喷出开口部被堵塞部 件堵塞，且在所述堵塞部件上相对于所述中心轴呈同心圆状地设置有一列或多列气体喷出 孔。

另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材的制造方法中，通过所述气体喷出 孔的轴线也能以通过位于同一圆周上的所述气体喷出孔的轴线在所述中心轴的延长线上 具有交点的方式相对于所述中心轴倾斜。

另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材的制造方法中，供应所述可燃性气 体及助燃性气体的步骤也可包括对所述最外侧的气体喷出开口部供应助燃性气体，以及对 与所述最外侧的气体喷出开口部邻接的气体喷出开口部供应可燃性气体。

另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材的制造方法中，堵塞部件的厚度也 可为1.0mm以上。

另外，根据本发明的另一方面，在多孔质玻璃母材的制造方法中，通过所述气体喷出 孔的气体的线速度也可为约16m/s，所述气体喷出孔也可为圆形，且所述气体喷出孔的 内径也可为1.0mm以下。

附图说明

图1为多孔质玻璃母材制造装置1的概略图。

图2为从气体喷出口侧观察多孔质玻璃母材制造用燃烧器10所见的平面图。

图3为沿图2的A-A线的截面图。

图4为沿图2的A-A线的截面图，且为表示小口径助燃性气体喷出口及气体喷出孔的 焦点的图。

图5为从气体喷出口侧观察多孔质玻璃母材制造用燃烧器10所见的平面图。

图6为从气体喷出口侧观察多孔质玻璃母材制造用燃烧器30所见的平面图。

图7为沿图6的A-A线的截面图。

图8为表示多孔质玻璃母材制造用燃烧器30喷射的气体的扩散的图。

具体实施方式

以下通过发明的实施方式对本发明进行说明，但以下的实施方式并不限定技术方案的 范围所涉及的发明。另外，在实施方式中说明的全部特征结合并非为发明的解决方案所必 需。

图1为本发明实施方式所涉及的所述多孔质玻璃母材制造装置1的概略图。

图1的多孔质玻璃母材制造装置1是使用OVD法的装置。如图1所述，初始母材2具 有芯杆（core rod）3，在芯杆3的两端部焊接有虚设杆（dummy rod）4。虚设杆4的端 部41被基材支撑部件5旋转自由地支撑。如图1所示，在基材支撑部件5上安装有旋转 电机6，通过旋转电机6驱动而使初始母材2围绕其轴旋转。

如图1所示，在初始母材2的下方设置有燃烧器装置7，该燃烧器装置7通过图中未 示出的移动机构沿初始母材2的长度方向往返自由地移动。在燃烧器装置7上通常安装有 多个将在以下进行说明的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10（参照图2及图3）。另一方面， 如图1所示，在初始母材2的上方设置有排气罩8。

以下参照图1对采用OVD法的多孔质玻璃母材的制造方法进行说明。

首先，通过旋转电机6使由基材支撑部件5支撑的初始母材2绕轴旋转。

然后，向燃烧器装置7供应作为光纤用玻璃原料的SiCl₄等的蒸气和燃烧气体（氢气 及氧气）。此处，燃烧器装置7沿初始母材2的长度方向往返移动，同时，向初始母材2 喷射含有光纤用玻璃原料的蒸气和火焰。此时，在氢氧焰中，通过SiCl₄等的水解反应而 生成玻璃微粒子（烟灰粒子，soot），并且使该玻璃微粒子附着在绕轴旋转的初始母材2 上。

从上述步骤起在燃烧器装置7的往返范围内，玻璃微粒子附着沉积在初始母材2上， 从而形成玻璃微粒子沉积体，即光纤用多孔质玻璃母材。

最后，通过使玻璃微粒子在电炉（图中未示出）内脱水和烧结而使其透明玻璃化，由 此生成光纤母材。以下对在图1所示燃烧器装置7中可使用的多孔质玻璃母材制造用燃烧 器10进行说明。

[第一实施方式]

图2为从气体喷出口侧观察第一实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器所见 的平面图。图3和图4为沿图2的A-A线的截面图。

如图2和图3所示，第一实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10是具有 四层管的多层管结构，例如可由以石英玻璃为主要成分的材料形成。此处，多层管结构是 指在中心的第一管11的周围依次设置有比第一管11的管径大的多个管的结构，能够从中 心的第一管11及各管之间喷射出气体等。

多孔质玻璃母材制造用燃烧器10包括：具有中心轴C（参照图4）的第一管（玻璃原 料气体喷出口）11；设置在第一管11周围的第二管12；设置在第二管12周围的第三管 13；以及设置在第三管13周围的第四管14。

如图2及图3所示，第一管11喷出玻璃原料气体。作为供应至第一管11的玻璃原料 气体，例如可为SiCl₄、GeCl₄等。通过这些玻璃原料气体的火焰水解反应或氧化反应而产 生生成玻璃的化合物、玻璃微粒子等。也就是说，在本实施方式所涉及的多孔质玻璃母材 制造用燃烧器10中，可将预先合成的玻璃微粒子以及在火焰中生成玻璃微粒子的原料中 的一者或两者用作玻璃原料。

如图2及图3所示，在第一管11与第二管12之间设置有圆环状的第一气体喷出开口 部15，第一气体喷出开口部15喷出密封气体。可将N₂等不活泼气体等用作密封气体。

另外，如图2及图3所示，在第二管12与第三管13之间设置有圆环状的第二气体喷 出开口部16，第二气体喷出开口部16喷出可燃性气体。可将氢气或例如甲烷、丙烷等烃 类化合物用作可燃性气体。

另外，如图2及图3所示，在第三管13与第四管14之间设置有圆环状的第三气体喷 出开口部17，第三气体喷出开口部17喷出助燃性气体。助燃性气体可使用氧气或空气等。

如图2所示，在第二管12与第三管13之间的第二气体喷出开口部16相对于第一管 11的中心轴C（参照图4）呈同心圆状地设置有八个小口径助燃性气体喷出口18。如图4 所示，这些小口径助燃性气体喷出口18的轴线在第一管11的中心轴C的延长线上的点 f₁处交叉。以下将该交叉点记为“焦点”。

另外，对于该焦点，严格地说未必就是第一管11的中心轴C的延长线上的一点，只 要小口径助燃性气体喷出口18的轴线延长线大致集中于一点即可。本实施方式中，将从 多孔质玻璃母材制造用燃烧器10的前端至交点f₁的距离即焦点距离L₁设定为约150mm。

本实施方式中，如图2及图3所示，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器10中位于最外 侧的第三气体喷出开口部17被堵塞部件19堵塞。如图3所示，堵塞部件19焊接于第四 管14的前端部141及第三管13的前端部上。作为堵塞部件19的材料，只要是与燃烧器 主体相同的材料即可，例如可为石英玻璃。

如图2及图3所示，在堵塞部件19上相对于中心轴C（参照图4）呈同心圆状地设置 有多个圆形的气体喷出孔20。气体喷出孔20的形状优选为圆形，但并不限定于此。另外， 如果将气体喷出孔20设置成圆形，则可容易地使用钻孔器等进行打孔。

此外，如果将气体喷出孔20设置成圆形，则具有易于改变孔的数量和内径的大小等， 从而调节助燃性气体流路的截面积时的自由度较高的优点。另外，如图4所示，设置在堵 塞部件19上的一列气体喷出孔20以具有同一焦点f₂的方式，使气体喷出孔20的轴线相 对于第一管11的中心轴C倾斜。

另外，堵塞部件19的厚度t优选为1mm以上。由此，能够对通过的助燃性气体保持 适度的阻力。由此，每个气体喷出孔20的线速度分布也变得均匀，通过气体喷出孔20的 助燃性气体集中于焦点f₂的汇聚性提高。

根据本发明第一实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10，在多孔质玻璃母 材制造用燃烧器10中位于最外侧的第三气体喷出开口部17被堵塞部件19堵塞，且在堵 塞部件19上相对于中心轴C呈同心圆状地设置有多个圆形的气体喷出孔20。

因此，最外侧的第三气体喷出开口部17的截面积变小，从而使线速度相对于助燃性 气体的流量而变大。由此，抑制从最外侧的第三气体喷出开口部17喷出的助燃性气体及 从与第三气体喷出开口部17邻接的第二气体喷出开口部16喷出的可燃性气体的扩散，从 而能够提高玻璃微粒子的沉积效率。

根据本发明第一实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10，通过气体喷出孔 20的轴线以使设置在堵塞部件19上的一列气体喷出孔20的轴线在第一管11的中心轴C 的延长线上具有交点的方式相对于中心轴C倾斜。

因此，能够更加有效地抑制从最外侧的第三气体喷出开口部17喷出的助燃性气体的 扩散。此外，通过第三气体喷出开口部17的助燃性气体以朝中心轴C的延长线上汇聚的 方式喷射，因此能够对流过位于第三气体喷出开口部17内侧的第二气体喷出开口部16的 可燃性气体发挥封闭效果，从而更加有效地抑制气体的扩散。

根据本发明第一实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10，第二气体喷出开 口部16喷出可燃性气体，第三气体喷出开口部17喷出助燃性气体。

根据本实施方式的结构，由于流过最外侧的第三气体喷出开口部17的助燃性气体的 线速度变大，因此燃烧器的前端部分不易燃烧。因此，无需为了防止燃烧器的前端部分燃 烧而在可燃性气体与助燃性气体之间流动不活泼气体。由此，不需要设置流动不活泼气体 的管道，从而可使可燃性气体与助燃性气体邻接地喷出。从而防止不活泼气体造成沉积面 的温度下降，从而提高沉积效果。

[第二实施方式]

图5为从气体喷出口侧观察第二实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10 所见的平面图。另外，对与上述的实施方式所说明的内容相同的部分标注相同的符号，并 省略重复的说明。

如图5所示，在本实施方式中，设置在堵塞部件19上的圆形的气体喷出孔20由两列 构成，两列气体喷出孔20相对于中心轴C呈同心圆状地设置。此处，位于同一圆周上的 气体喷出孔20具有相同的焦点。也就是说，通过位于同一圆周上的气体喷出孔20的轴线 在中心轴C（参照图4）的延长线上具有交点。

其次，在本实施方式中，使供应至第四管14的助燃性气体的流量（即通过第三气体 喷出开口部17的助燃性气体的流量）发生变化，而对助燃性气体的线速度及玻璃微粒子 的沉积效率进行测量。将测量的结果示于表1中。

另外，采用O₂作为供应至第四管14的助燃性气体。对于气体喷出孔20的构成，以图 5所示的两列进行设置，且数量为40个。气体喷出孔20的内径为0.8mm，将从燃烧器的 前端至焦点f₂的焦点距离L₂（参照图4）设定为300mm。

另外，在该实验中，对第一管11以10L/min供应SiCl₄作为玻璃原料气体，并且以 12L/min供应O₂作为助燃性气体。对第二管12以4L/min供应空气作为密封气体，对第 三管13以170L/min供应H₂作为可燃性气体。

而且，在该实验中，也将四个多孔质玻璃母材制造用燃烧器10以150mm间隔排列， 且在初始母材2上沉积130kg的多孔质玻璃微粒子。初始母材2采用在外径55mm、长 度2000mm的芯杆3的两端部焊接有外径50mm的虚设杆4的初始母材。

表1

  实施例A   实施例B   实施例C   孔径   mm   0.8   0.8   0.8

  孔数   个   40   40   40   第四管流量   L/min   10   20   30   第四管线速度   m/s   8.3   16.6   24.9   沉积效率   ％   65   70   68

如从表1所得知般，尽管供应至第四管14的助燃性气体的流量较少，助燃性气体的 线速度还是大幅増加。尤其是，即便将气体流量减少至10L/min，助燃性气体的线速度 仍然比后述的表3大，从而抑制了气体的扩散及火焰的扩散。另外，当将气体流量设定为 20L/min时，沉积效率提高至70%。

其次，也进行另一实验。在该实验中，供应至第四管14的助燃性气体的流量（20L/min） 与助燃性气体的线速度（约16m/s）保持于固定，而使气体喷出孔20的孔径和数量发生 变化来测量玻璃微粒子的沉积效率。其他构成与表1的实验相同。

表2

从表2的实验得知，在助燃性气体的线速度为约16m/s的情况下，如果气体喷出孔 20的内径为1.0mm以下，则可进一步提高沉积效率。

另一方面，实施例F中的沉积效率为66%，与其他实施例相比为较低的结果。这是由 于气体喷出孔20的个数较少而为18个，孔间隔变大，可燃性气体从该间隙发生了少量扩 散。在表2中的实施例F的孔间隔为4.5mm。另一方面，沉积效率为68%的实施例E的孔 间隔为3.5mm，沉积效率为70%的实施例B的孔间隔为2.0mm。因此，在助燃性气体的 线速度为约16m/s的情况下，设置孔径为1mm以下且孔的间隔为2.0mm以下的孔即可。

从以上实验得知，在助燃性气体的线速度为相同的条件下，减小气体喷出孔20的孔 径且开更多数量的孔而减小孔间的间隔则能够增大对流过助燃性气体内侧的可燃性气体 的封闭效果，从而抑制可燃性气体的扩散。因此进一步提高沉积效率。

根据本发明第二实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10，当助燃性气体 的线速度为约16m/s时，通过将气体喷出孔20的内径设定为1.0mm以下，便会进一步 增大对流过处于第三气体喷出开口部17内侧的第二气体喷出开口部16的可燃性气体的封 闭效果，从而能够更加有效地抑制气体扩散。

由此提供一种可改变最外侧气体喷出开口部的截面积而调整助燃性气体的流量及线 速度，从而抑制助燃性气体和可燃性气体扩散，并且提高沉积效率的多孔质玻璃母材制造 用燃烧器及使用该多孔质玻璃母材制造用燃烧器的多孔质玻璃母材的制造方法。

[比较例]

图6、图7和图8表示作为比较例的多层管燃烧器。如图6和图7所示，多孔质玻璃 母材制造用燃烧器30具有五重管结构。

多孔质玻璃母材制造用燃烧器30包括：具有中心轴C（参照图8）的第一管31；设 置在第一管31周围的第二管32；设置在第二管32周围的第三管33；设置在第三管33周 围的第四管34；以及设置在第四管34周围的第五管35。

如图6所示，在第二管32与第三管33之间相对于第一管31的中心轴C呈同心圆状 地设置有八个小口径助燃性气体喷出口36。如图8所示，小口径助燃性气体喷出口36的 轴线在第一管31的中心轴C的延长线上具有交点f₁（即具有焦点），从多孔质玻璃母材 制造用燃烧器30的前端至交点f₁的距离（焦点距离）L₁设定为150mm。

在比较例中，对第一管31以10L/min供应SiCl₄作为玻璃原料气体，并以12L/min 供应O₂作为助燃性气体。另外，对第二管32以4L/min供应空气（Air）作为密封气体， 且对第三管33以170L/min供应H₂作为可燃性气体。另外，对第四管34以5L/min供应 N₂作为密封气体，对小口径助燃性气体喷出口36以25L/min供应O₂作为助燃性气体。

对比较例进行下述的表3般的实验。在该实验中，使供应至第五管35的助燃性气体 流量发生变化而测量助燃性气体的线速度及玻璃微粒子的沉积效率。另外，在该实验中， 将四个多孔质玻璃母材制造用燃烧器30以150mm间隔排列，在初始母材上沉积130kg 的多孔质玻璃微粒子。实验中所用的初始母材使用在外径55mm、长度2000mm的芯杆的 两端部焊接有外径50mm的虚设杆的初始母材。

表3

  比较例A   比较例B   比较例C   第五管流量   L/min   20   40   60   第五管线速度   m/s   1.2   2.4   3.6   沉积效率   ％   60   65   57

在实验中，在上述所有比较例A、B、C中从第五管35排出的助燃性气体的线速度均 较小，如图8所示，气体扩散及火焰散乱变大。另外，在比较例C中，来自第五管35的 助燃性气体的流量过大而使沉积面的温度降低，其结果导致沉积效果也大大降低。

另一方面，如果减小助燃性气体的流量，则会使线速度变小。如果助燃性气体的线速 度变小，则如图8所示，使气体扩散及火焰散乱变大。其结果导致沉积效果无法提高。

另外，当助燃性气体的线速度较小时，如果设为使可燃性气体与助燃性气体邻接喷出 的结构，则会使管的前端部分燃烧。因此，如图6及图7的结构所示，不得不在喷出可燃 性气体的第三管33与喷出助燃性气体的第五管35之间设置第四管34，并在第四管34中 流动不活泼气体。然而，当不活泼气体抵达玻璃微粒子的沉积面时，会使沉积面的温度降 低，其结果导致沉积效果下降。

如此一来，在实施方式所涉及的多孔质玻璃母材制造用燃烧器10中，在具有中心轴 的玻璃原料气体喷出口的外侧呈同心圆状地设置有多个圆环状的气体喷出开口部。而且， 在多个气体喷出开口部中除最外侧气体喷出开口部以外的任一气体喷出开口部上相对于 中心轴呈同心圆状地设置有一列或多列小口径气体喷出口。此外，在小口径气体喷出口中 位于同一圆周上的小口径气体喷出口的轴线在中心轴的延长线上具有交点。

由此，在多孔质玻璃母材制造用燃烧器10中，多个气体喷出开口部中最外侧的气体 喷出开口部被堵塞部件堵塞，且在堵塞部件上相对于中心轴呈同心圆状地设置有一列或多 列气体喷出孔。由此，最外侧的气体喷出开口部的截面积变得更小，气体线速度相对于气 体流量变大。由此能够抑制从最外侧的气体喷出开口部喷出的气体及与该气体邻接喷出的 气体的扩散，从而提高玻璃微粒子的沉积效率。

另外，根据上述实施方式，通过气体喷出孔的轴线以通过位于同一圆周上的气体喷出 孔的轴线在中心轴的延长线上具有交点的方式相对于中心轴倾斜。由此，通过最外侧的气 体喷出开口部的气体以朝中心轴的延长线上汇聚的方式喷射，从而能够更加有效地抑制从 最外侧气体喷出开口部喷出的气体的扩散。

此外，在上述实施方式中，由于通过最外侧气体喷出开口部的气体以朝中心轴的延长 线上汇聚的方式喷射，因此对流过最外侧气体喷出开口部的内侧的其他气体发挥封闭效 果，从而能够更加有效地抑制内侧气体的扩散。因此能够更进一步提高玻璃微粒子的沉积 效率。

另外，根据其他结构，对最外侧气体喷出开口部供应助燃性气体，且对与最外侧气体 喷出开口部邻接的气体喷出开口部供应可燃性气体。

通过上述实施方式，使通过最外侧气体喷出开口部的气体的线速度变大。由此防止燃 烧器的前端部分燃烧，因此也可不流过不活泼气体。由此，不设置流动不活泼气体的管道 而可形成可燃性气体与助燃性气体邻接喷出的结构。从而防止不活泼气体使沉积面的温度 下降，进一步提高沉积效果。

另外，根据本发明的另一结构，堵塞部件的厚度为1.0mm以上，因此，堵塞部件对 通过最外侧的气体喷出开口部的气体保持适度的阻力，从而可确实地保持在气体喷出开口 部内而不受所流过的气体的影响。由此，各个气体喷出孔的线速度的偏差变小，从而气体 喷出孔的线速度分布变得均匀。其结果沉积效果进一步提高。

另外，根据本发明的另一结构，由于通过气体喷出孔的气体的线速度为约16m/s， 气体喷出孔为圆形，且气体喷出孔的内径为1.0mm以下，因此能够对流过最外侧气体喷 出开口部的气体的内侧的其他气体带来更大的封闭效果，从而能够更加有效地抑制气体扩 散。

在上述实施方式中记载的是气体喷出孔20为一列或两列的情况。然而，气体喷出孔 20的列并不限于一列或两列，也可设置成三列以上。

另外，在上述实施方式中，虽然通过移动机构使燃烧器装置7沿初始母材2的长度方 向往返移动，但只要使初始母材2与燃烧器装置7相对地往返移动即可。因此，也可将初 始母材2安装在移动机构上，使初始母材2相对于燃烧器装置7移动。

以上，虽然使用实施方式对本发明进行了说明，但本发明的技术范围并不限于上述实 施方式所记载的范围。本领域技术人员应当理解，可对上述实施方式加以各种变更或改良。 根据技术方案的范围的记载得知，加以这些变更或改良的结构也包含在本发明的技术范围 内。