公开/公告号CN110366098A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 北京海益同展信息科技有限公司;
申请/专利号CN201910604960.1
发明设计人 徐艳梅;
申请日2019-07-05
分类号H04W4/02(20180101);H04W64/00(20090101);G01S17/02(20060101);G01S17/06(20060101);G06F16/29(20190101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人李阳;郭晗
地址 100176 北京市北京经济技术开发区科创十一街18号院2号楼6层601
入库时间 2024-02-19 15:16:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H04W4/02 申请日:20190705
实质审查的生效
2019-10-22
公开
公开
机译: 目标定位装置,用于驱动目标定位装置的方法以及包括这种目标定位装置的光刻系统
机译: 目标定位设备,用于驱动目标定位设备的方法以及包括这种目标定位设备的光刻系统。
机译: 目标定位设备,用于驱动目标定位设备的方法以及包括这种目标定位设备的光刻系统。