基于聚有机硅氧烷的印模的制造方法、基于聚有机硅氧烷的印模、该基于聚有机硅氧烷的印模用于印刷工艺的用途以及利用该基于聚有机硅氧烷的印模的压印方法

摘要

本发明公开了制造基于聚有机硅氧烷的印模的方法，其包括提供包括转印图案表面的母版；在转印图案表面上形成第一可固化组合物的第一层，使得第一层包括所述转印图案的凹凸图案；部分固化所述第一层；将第二可固化组合物的第二层沉积到部分固化的第一层上，共固化所述部分固化的第一层和第二层以形成具有第一杨氏模量的固化的第一层，所述第一层粘合到具有比第一杨氏模量小的第二杨氏模量的固化的第二层上；将第三可固化组合物的第三层沉积到第二层上；和固化所述第三层以形成与固化的第二层粘合的固化的第三层。本发明还公开了由上述方法可获得的基于聚有机硅氧烷的印模；所述基于聚有机硅氧烷的印模用于印刷工艺的用途；和使用所述基于聚有机硅氧烷的印模的压印方法。