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使用图案化疏水性表面进行的自组装图案化

摘要

本文提供的实施方案涉及制备包括例如用于数字射流装置的图案化流动池或图案化表面的用于测序应用的图案化表面的自组装方法。该方法利用光刻术以产生具有由疏水性间隙区分隔的多个微米尺度或纳米尺度轮廓的图案化表面并且在光刻术工艺期间不需要氧等离子体处理。此外,该方法避免在沉积凝胶材料至轮廓之后使用任何化学或机械抛光步骤。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-13

    著录事项变更 IPC(主分类):G03F7/40 变更前: 变更后: 申请日:20170517

    著录事项变更

  • 2019-03-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/40 申请日:20170517

    实质审查的生效

  • 2019-02-05

    公开

    公开

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