Research On The Extraction Of Optical Surface Morphology And The Effect Of Bonnet Polishing Paths On The Mid-frequency Error

摘要

抛光作为光学元件光整加工的最终加工工序，是获得高质量光学元件的关键所在。气囊抛光作为一种具有极大发展潜力的超精密抛光技术，具有材料去除特性稳定、接触面积大、吻合性好、抛光精度与效率高等优点。但是受到抛光气囊尺寸限制，也会产生小磨头抛光工具固有的波纹特征，即中频误差。中频误差的存在严重影响了光学系统的使用性能，因此对其相关技术进行研究已经刻不容缓。本文研究光学元件表面形貌特征的提取技术，在此基础上对常规抛光路径加工后光学元件的中频误差进行评价，围绕中频误差的产生机理，指出抛光路径规划是抑制中频误差的关键。提出合理的抛光路径规划策略，通过仿真研究及大量的抛光实验验证其可行性。论文的研究工作包括以下...