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Design rules for self-assembled block copolymer patterns using tiled templates

机译:使用平铺模板设计自组装嵌段共聚物图案的规则

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摘要

Directed self-assembly of block copolymers has been used for fabricating various nanoscale patterns, ranging from periodic lines to simple bends. However, assemblies of dense bends, junctions and line segments in a single pattern have not been achieved by using sparse templates, because no systematic template design methods for achieving such complex patterns existed. To direct a complex pattern by using a sparse template, the template needs to encode the key information contained in the final pattern, without being a simple copy of the pattern. Here we develop a set of topographic template tiles consisting of square lattices of posts with a restricted range of geometric features. The block copolymer patterns resulting from all tile arrangements are determined. By combining tiles in different ways, it is possible to predict a relatively simple template that will direct the formation of non-trivial block copolymer patterns, providing a new template design method for a complex block copolymer pattern.
机译:嵌段共聚物的直接自组装已被用于制造各种纳米级图案,从周期线到简单的弯曲。但是,由于不存在用于实现这种复杂图案的系统模板设计方法,因此无法通过使用稀疏模板来实现单个图案中的密集弯曲,交点和线段的组装。为了通过使用稀疏模板来定向复杂模式,模板需要对最终模式中包含的关键信息进行编码,而不是模式的简单副本。在这里,我们开发了一组地形模板图块,这些图块由具有有限几何特征范围的柱的方格组成。确定由所有砖块布置产生的嵌段共聚物图案。通过以不同方式组合瓷砖,可以预测一个相对简单的模板,该模板将指导非平凡的嵌段共聚物图案的形成,从而为复杂的嵌段共聚物图案提供了一种新的模板设计方法。

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