一種多功能奈米探針介面結構及製作方法

摘要

[[abstract]]一種新穎多功能奈米探針介面，以應用於各式神經組織刺激及偵測。此奈米探針介面結構包括包覆薄絕緣層的奈米碳管、微電極基座陣列、及感測與刺激神經細胞之控制晶片。微電極基座陣列具有導線連接奈米碳管與控制晶片，及微流通道以供給維持神經組織健康之養分及藥劑。奈米碳管則配置於矽微電極基座陣列，並包覆薄絕緣層於外壁，做為刺激與紀錄神經組織的奈米探針。