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机译:X射线光刻的验证和移动掩模深X射线光刻的开发仿真系统
Hirai Y; Hafizovic S; Matsuzuka N; Korvink JG; Tabata O;
机译:移动掩模深X射线光刻的X射线光刻验证与开发仿真系统
机译:具有多级3-D微加工的移动掩模深X射线光刻系统
机译:在移动掩模深X射线光刻(M〜2DXL)中推导最佳掩模和运动模式的算法
机译:用于移动掩模深X射线光刻的3D仿真系统
机译:通过深X射线光刻和电镀实现的微电磁旋转电机。
机译:X射线光刻掩模计量学:透射电子在SEM中用于线宽测量
机译:深X射线光刻中能量沉积和二次过程的模拟研究
机译:用于深X射线光刻的掩模的热管理
机译:用于X射线或深X射线光刻的石墨掩模
机译:用于X射线光刻的掩模和X射线光刻曝光设备无效
机译:X射线光刻图形掩模和X射线光刻图形方式
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