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【2h】

Formation of fine patterned structure on silicon wafer by means of electrochemical methods

机译:电化学方法在硅片上形成精细的图形结构

摘要

制度:新 ; 文部省報告番号:甲1502号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:2001-03-15 ; 早大学位記番号:新3074 ; 理工学図書館請求番号:2524
机译:系统:新;教育部报告编号:1502;学位类型:博士学位(工程学);授予日期:2001-03-15;早稻田大学编号:New 3074;科学与工程图书馆申请编号:2524

著录项

  • 作者

    高野 奈央;

  • 作者单位
  • 年度 2016
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 en
  • 中图分类

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