机译:机械振动辅助等离子体蚀刻研究。第二次报告。强制振动机制蚀刻速率改善。
机译:机械振动辅助等离子体蚀刻的研究(第二次报告)-通过强制振动机制提高蚀刻速率-
机译:机械振动辅助等离子体蚀刻的研究(第二次报告)-通过强制振动机制提高蚀刻速率-
机译:机械振动辅助等离子体刻蚀,以提高刻蚀速率和各向异性
机译:等离子体蚀刻过程中电介质表面的几何结构依赖性充电的实验研究。
机译:多变量和智能控制策略在反应离子刻蚀中改善等离子体特性的应用。
机译:机械产生的振动对血液透析功效的影响;评估患者的安全性:初步报告
机译:径向载荷下滚珠轴承振动研究。第二次报告。外圈的刚体自然振动。
机译:选择性等离子蚀刻。总结报告。