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机译:用钪合金溅射靶和实验设计制备氮化铝薄膜薄膜
Morito AKIYAMA; Tatsuo TABARU; Keiko NISHIKUBO; Akihiko TESHIGAHARA; Kazuhiko KANO;
机译:scan铝合金溅射靶制备of铝氮化物薄膜及实验设计
机译:生长温度和scan浓度对氮化铝nitride合金薄膜压电响应的影响
机译:dium浓度对氮化铝氮化铝薄膜发电品质因数的影响
机译:高scan含量的c轴织构氮化铝aluminum铝薄膜的增强压电性能:固有应力和溅射参数的影响
机译:氮化铝,氮化Scan和氮化铝-氮化三元合金:结构,光学和电学性质。
机译:用于压电应用的氮化铝(002)薄膜的反应溅射:综述
机译:铁电铝钪氮化铝薄膜的纳米级结构和化学性质
机译:生产氮化铝氮化铝薄膜,例如用于发光二极管的发光层的方法,包括在氮气气氛中溅射a铝合金靶以分离衬底上的薄膜
机译:铝 - 钪复合材料,铝 - 钪复合溅射靶和制造方法
机译:AND铝合金溅射靶
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