机译:分层Al2O3-SiO2和Al2O3-Ta2O5薄膜复合材料,用于高介电强度,通过脉冲直流和射频磁控溅射沉积
机译:脉冲直流电和射频磁控溅射沉积的具有高介电强度的层状Al_2O_3-SiO_2和Al_2O_3-Ta_2O_5薄膜复合材料
机译:脉冲直流电和射频磁控溅射沉积的具有高介电强度的层状Al_2O_3-SiO_2和Al_2O_3-Ta_2O_5薄膜复合材料
机译:射频,直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子传输和晶体学取向特征
机译:通过直流和脉冲直流不平衡磁控溅射沉积的氮化钛薄膜中的残余应力
机译:脉冲直流电抗磁控管溅射电介质。
机译:射频直流和射频叠加直流磁控溅射沉积的透明导电掺铝ZnO多晶薄膜的载流子输运和晶体学取向特征
机译:通过高功率脉冲磁控溅射和直流磁控溅射在含氢等离子体中沉积的β-Ta和α-Cr薄膜