机译:钻石电影的特殊问题/沉积方法,表征和应用。使用磁性活性等离子体CVD和微波等离子体CVD沉积金刚石膜。
机译:低压,低温H-2-CH4-CO2微波等离子体的光谱研究用于大面积沉积纳米晶金刚石薄膜。 第二部分:血浆化学过程
机译:低压,低温H-2-CH4-CO2微波等离子体的光谱研究用于大面积沉积纳米晶金刚石薄膜。 第二部分:血浆化学过程
机译:低压,低温H-2-CH4-CO2微波等离子体的光谱研究用于大面积沉积纳米晶金刚石薄膜。 第一部分:温度决定和精力量方面
机译:用于MEMS应用的CVD金刚石膜的微波等离子体沉积
机译:通过微波等离子体CVD进行高速金刚石沉积。
机译:微波等离子体沉积工艺中硼诱导金刚石薄膜的形貌转变
机译:钻石电影的特殊问题/沉积方法,表征和应用。通过热长丝CVD和电子辅助CVD形成的金刚石薄膜的生长。