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机译:使用缝合干涉测量的大型X射线同步辐射镜测量的3D表面轮廓测量
Lahsen Assoufid; Michael Bray; Jun Qian; Deming Shu;
机译:国家同步加速器光源Ⅱ(NSLS-Ⅱ)的同步辐射镜计量拼接干涉法
机译:使用型材涂层制造用于同步辐射X射线聚焦的嵌套椭圆KB镜
机译:暴露于同步辐射的深X射线光刻镜表面污染的表征
机译:使用拼接干涉仪测量大型X射线同步加速器辐射镜的3-D表面轮廓
机译:使用相位步进斑点干涉法测量3D表面的形状和变形
机译:波前测量和硬X射线纳米封膜镜的波前测量和校正的X射线单光干涉测量
机译:用于同步辐射的镜子的表面轮廓测量。
机译:X射线曝光设备,X射线曝光方法,X射线掩模,X射线镜,同步加速器辐射设备,同步加速器辐射方法和半导体器件
机译:暴露于x射线,x射线面具,x射线镜同步辐射的设备和方法,同步辐射辐射的半导体设备的方法
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