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机译:电离区域中的电子加热:超越磁控溅射的Penning-Thornton范式
André Anders;
机译:电离区域中电子的局部加热:超越磁控溅射中的Penning-Thornton范式
机译:有和没有局部电离区的高功率脉冲磁控溅射中的离子能
机译:磁控溅射放电中的电子加热
机译:铝(,2)氧(,3)的电离磁控溅射。
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:高电流磁控溅射之间的过渡中电离区的传播方向逆转
机译:大面积磁控溅射腔室,带独立控制的溅射区域
机译:具有独立控制溅射区的大面积磁控溅射室
机译:使用具有独立控制溅射区的大面积磁控溅射室处理基板的方法
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