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机译:溅射制备不同形态的ITO材料的气体传感性能
Yuantao Zhang; Qiang Li; Zhenhuan Tian; Peng Hu; Xiao Qin; Feng Yun;
机译:溅射制备不同形貌的ITO材料的气敏特性
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机译:ITO溅射靶的制备方法及其制备的ITO靶
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