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机译:基于临时粘接技术的新型压阻式MEMS压力传感器
Peishuai Song; Chaowei Si; Mingliang Zhang; Yongmei Zhao; Yurong He; Wen Liu; Xiaodong Wang;
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机译:基于MEMS技术的多晶硅压阻式压力传感器
机译:用于基于MEMS的压力传感器的无应力粘合技术和可粘合的薄玻璃层
机译:柔性基板上的MEMS压阻式压力传感器,采用镍铬合金和CNT /聚酰亚胺纳米复合材料作为压阻器。
机译:基于临时键合技术的新型压阻MEMS压力传感器
机译:DSP数字补偿技术在MEMS压阻式压力传感器中的应用研究
机译:压阻式压力传感器的制造方法是将芯片和/或组件临时固定在载体或基座上,并在进一步的制造步骤之后将其移除
机译:基于硅压阻技术的湿/湿放大差压传感器设计
机译:MEMS MEMS压阻式压力传感器及其制造方法
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