Основные физико-механические свойства плазменно-вакуумных покрытий

摘要

Известно более 20 способов формирования физико-механических свойств поверхностей изделий. Плазменно-вакуумный способ позволяет получать покрытия из тугоплавких материалов, карбидов, силицидов, нитридов, а также многослойные покрытия. В статье представлены результаты исследований физико-механических свойств плазменно-вакуумных титановых и нитридтитановых покрытий.