CMOS; EMBEDDING; ETCHING; FABRICATION; LOW THRUST PROPULSION; MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS; MICROROCKET ENGINES; MICROTHRUST; SPACECRAFT PROPULSION; vavle MEMS micropropulsion microspacecraft microthruster microfluids;
机译:通过牺牲铝蚀刻制成的用于流体密度测量的CMOS兼容设备
机译:嵌入InGaN发光二极管中的AlN牺牲缓冲层用于化学横向蚀刻工艺
机译:通过CMOS兼容工艺在绝缘体上硅衬底上制造了超过10GHz的横向硅光电探测器
机译:具有使用牺牲蚀刻工艺制造的通过玻璃玻璃的2D电容微机械超声换能器(CMUT)阵列
机译:一种新颖的原位技术,用于制造具有受控横向厚度调制的薄膜。
机译:酶刻蚀技术制备对齐的胶原纤维微图案
机译:一种从牺牲层蚀刻到防水涂层的全干处理技术
机译:双蚀刻技术制作的窄双电流限制瞄准基板平面激光器