Meetings; Nitrides; Chemical etching;
机译:ECR辅助微波等离子体氮化处理对FCVA沉积超薄ta-C膜在高密度磁存储应用中微观结构特性的影响
机译:通过高密度等离子体化学气相沉积制备的氮化硅膜用于太阳能电池
机译:先进的低电子温度微波激发高密度等离子体系统在低温(400)和高生长速率下用于半导体器件制造的氧化硅和氮化硅薄膜的生长
机译:高密度等离子刻蚀的iii族氮化物膜在器件中的应用
机译:III型氮化物的高密度等离子体蚀刻:工艺开发,设备应用和损坏修复。
机译:嵌入氮化硅薄膜中的硅量子点与金纳米粒子在发光器件中的耦合增强了电致发光
机译:用于光伏器件的类金刚石碳和氮化物薄膜的低温等离子体沉积