Laterally Vibrating Resonator Based Elasto-Optic Modulation in Aluminum Nitride.

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• 作者

  Ghosh, S.; Piazza, G.;

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• 作者单位

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• 年度 2016
• 页码 1-7
• 总页数 7
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  Acoustic resonance; Acoustic resonators; Photonics; Thin films; Electrodes; Optical modulators; Piezoelectric materials; Optical resonators; Photonics; Ain(aluminum nitride); Ain films;

  机译：声共振;声共振器;光子学;薄膜;电极;光学调制器;压电材料;光学谐振器;光子学; ain（氮化铝）; ain薄膜;