Electric fields; Detectors; Frequency response; Microelectromechanical systems; Symposia; Vacuum chambers;
机译:真空中MEMS电场传感器的表征技术
机译:使用CMOS-MEMS技术的微型甲醇传感器的制造与表征
机译:关于低成本MEMS传感器,绞线惯性导航和动态定位非线性估计技术的用途
机译:真空中MEMS电场传感器的特征技术
机译:使用电容传感器接口实时监视和表征RF MEMS开关和MEMS变容二极管。
机译:使用CMOS-MEMS技术的微型甲醇传感器的制造与表征
机译:使用CmOs-mEms技术制造和表征微量甲醇传感器