Chips(Electronics); Oxynitrides; Silicon; Waveguides; Annealing; Backscattering; Cladding; Cross sections; Delay lines; Fabrication; High temperature; Low loss; Optical properties; Refractive index; Reprints; Roughness; Spectrometry;
机译:硅芯片上紧凑型氮氧化硅波导的制备与表征
机译:以氧氮化硅(SiO_xN_y)为玻璃隧道层的金属氧化物-氮化物-氧氮化物-多晶硅非易失性半导体存储器件的制作与表征
机译:绝缘体上硅平台上直且紧凑的S形弯曲光波导的制造与表征
机译:用热氧化富硅氮化硅制备的氮氧化硅制备光波导
机译:用于制造光波导的氧氮化硅材料的沉积和表征。
机译:N2气氛中硅铁直接氮化的短氮化硅纤维的制备与表征
机译:基于氧氮化硅的瞬态光波导传感器的设计与制造,用于汽油中的掺假快速检测