机译:联合评估掠入射X射线荧光和X射线反射率数据,以改善超浅深度分布的轮廓
GIXRF; XRR; Ultra-shallow junctions; Ultra-shallow implants;
机译:联合评估掠入射X射线荧光和X射线反射率数据,以改善超浅深度分布的轮廓
机译:结合氧化型X射线荧光和X射线反射率分析的过渡金属氮化物材料的定量深度分布分析
机译:通过微聚焦掠射X射线荧光和掠入射X射线荧光对Si和Ge中低能离子注入的深度分布进行分析
机译:使用组合的放牧入射X射线荧光和X射线反射测量法的纳米级层系统的无参考深度表征
机译:使用掠入射X射线衍射进行残余应力深度分析。
机译:联合评估掠入射X射线荧光和X射线反射率数据以改善超浅深度分布的轮廓
机译:联合评估掠入射X射线荧光和X射线反射率数据,以改善超浅深度分布的轮廓