エキシマレーザ用ディジタル制御方式高速充電技術の検討

摘要

共振形コンバータを用いたェキシマトーザ用高速充電器は，コンバータ内のインバータスイッチを高周波で繰り返しスイッチングすることで，出力負荷コンデンサを目標電圧値まで充電する。 従来はアナログ制御方式であったため，目標出力電圧を高速かつ高精度に実現することが困難であった。 詳細に回路動作のシミュレーションを行った結果，制御遅れを考慮したスイッチング制御が不可欠であることがわかった。 そこで，これまでのコンデンサ充電器の制御部に，アナログ制御方式に代えて予測制御が可能となるディジタル制御方式を採用して検討を行った。 アナログ制御では実現できなかった±0.2％程度の出力電圧精度を得ることができた。