机译:一种用于生物MEMS应用的使用表面微加工多晶硅盖封装MEMS致动器的倒装芯片封装方法
thermal actuator; tether; liquid; hydrophobic; atomic layer deposition; MICROSYSTEMS; COATINGS; SYSTEMS; DEVICES; ARRAYS; DRUG;
机译:一种用于生物MEMS应用的使用表面微加工多晶硅盖封装MEMS致动器的倒装芯片封装方法
机译:用于生物MEMS / NEMS应用的水凝胶的致动,表征和原型设计的实验方法
机译:表面微机械加工的多晶硅热作动器和阵列的应用
机译:生物MEMS和微流控技术在表面微加工中的应用
机译:大面积MEMS封装的薄膜封装方法。
机译:溅射封装作为可隔离MEMS器件的晶圆级封装:电容式加速度计上展示的一项技术
机译:通过多孔多晶硅壳的表面微机械加工晶片上单片封装
机译:采用五级多晶硅surface211微加工技术制造的低压旋转执行器