Caを15mol％置換したLaCrO{sub}3薄膜高温発熱体の発熱特性の基板純度依存性

摘要

(La{sub}0.85Ca{sub}0.15)CrO{sub}3薄膜に保護膜としてスパッタ法によりアルミナ発熱体表面に堆積させた発熱体は発熱後も薄膜の組成の変化はなく絶縁性も維持されることが分った。 また，基板として純度約99.5％のアルミナを用いることによって，得られた新規な点は以下の通りである。 （1）アルミナ基板上に堆積させた(La{sub}0.85Ca{sub}0.15)CrO{sub}3薄膜は，抵抗率の分布，配向性などはそれほど純度に依存しなかったが，表面形状については純度が高いほうがより大きな(La{sub}0.85Ca{sub}0.15)CrO{sub}3の粒子の連鎖を形成した。 （2）R-T特性の安定性について，純度約99.5％の高純度アルミナを用いた場合，長時間発熱させた場合の抵抗値の増加という劣化が抑えられることが分った。 （3）純度95.3％の場合の直流通電による発熱での抵抗値の増加の原因は白金を触媒として(La{sub}0.85Ca{sub}0.15)CrO{sub}3薄膜中のLaやCrが白金電極部に移動し，蒸散しているためと考えられる。