Vakuumdichte MEMS-Gehauml;use

摘要

Resonant betriebene Inertialsensoren in Mikrosystemtechnik sind durch die Vakuumdichtigkeit des Gehauml;uses in ihrer Lebensdauer begrenzt. Um zuverlauml;ssige Aussagen über die effektive Luftleckrate der Mikrogehauml;use treffen zu kouml;nnen, haben Wissenschaftler des Fraunhofer-Instituts für Siliziumtechnologie ISIT einen einzigartigen Neon Ultra-Fine-Leck-test entwickelt. Mit dieser zerstouml;rungsfreien Prüfung lassen sich die potenziellen Ausfallkandidaten bereits auf Waferebene - also noch vor der weiteren Verarbeitung und Auslieferung der Sensoren an die Kunden - ausselektieren.