共振器集積導波モード共鳴素子の反射位相の検討

摘要

共振器集積導波モード共鳴素子は薄膜導波路上にグレーティングカップラと2つの分布ブラッグ反射器を集積した構成であり，微小開口での狭帯域高反射を可能にする．この素子を共振器の短いレーザのミラーに用いる場合には，反射光位相について検討する事は重要である．本報告では，チャネル導波路上に共振器集積導波モード共鳴素子を集積し，その反射スペクトルと反射光位相の波長依存性の実験結果について述べている．高反射波長近傍で位相が2πシフトすることを見出した．