導波光垂直入出力微小開口結合のための共振器集積グレーティングカップラ

摘要

2つの導波路型分布ブラッグ反射器で構成する共振器の中にグレーティングカップラを集積して，導波路面に垂直に入出力する空間光と導波光を結合する素子を検討している．グレーティングの屈折率変調が小さな場合でも短い開口長で高効率結合が可能となる．今回，基板側放射光を抑圧するために基板上にAu反射膜を導入した構造を提案し，Au反射膜の効果および影響を理論的実験的に検討している．その検討結果に基づいて素子を設計·作製し，結合効率の波長依存性を測定し，基本的結合機能を確認している．