校正と測定を同時に行うSパラメータ測定の基礎理論

摘要

先に筆者らは，ディエンべディング用のパラメータを求めるときに，ポートからDUTを取り外す必要がなく，かつ，ディエンべディング用のパラメータとDUTのSパラメータを同時に導出するSパラメータ測定法を提案した．この方法では，DUT接続ポートに加えて，新たに既知負荷接続用ポートを設け，値の異なる既知負荷を接続するときの複数の測定データから，ディエンべディング用のパラメータとDUTのSパラメータを同時に求めている．本文では，マルチチップモジュール内チップのSパラメータ測定への応用を念頭に，モジュール内のDUTが，モジュール内のチップを介して既知負荷と接続される場合を検討している．そして，既知負荷とDUT間の回路の特性が既知であれば，DUTを取り外すことなく，ディエンべディング用パラメータとDUTのSパラメータが測定可能であることを述べている．