走査型電子顕微鏡

摘要

走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope，以下SEM）は分解能や実用性の向上を目指してさまざまな改良がなされ，近年では科学技術研究や工業生産現場において幅広く活用されている。これは，サブナノメータに迫る分解能が実現されたことに加え，測定ニーズの多様化に対応してさまざまな信号を利用した観察手法が確立されつつあることによる。